Temperaturmessung von Optischen Elementen in einem Optischen Gerät

EP4086702 Art A1 9. November 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4086702
Aktenzeichen: EP21171796
Anmeldetag: 3. Mai 2021
Veröffentlichung: 9. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01J5/00G02B7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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