Vakuumpumpe, Vakuumpumpenaggregat zur Evakuierung einer Halbleiterverarbeitungskammer sowie Verfahren zur Evakuierung einer Halbleiterverarbeitungskammer
EP4088034
Art B1
5. März 2025
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4088034
- Aktenzeichen
- EP21700335
- Anmeldetag
- 7. Januar 2021
- Veröffentlichung
- 5. März 2025
- Erteilung
- 5. März 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D29/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Totman, Clare Elizabeth
London, Großbritannien
103
Patente gesamt
14
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte