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EP4089712 Art A1 16. November 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4089712
Aktenzeichen: EP21173657
Anmeldetag: 12. Mai 2021
Veröffentlichung: 16. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/26H01J37/21

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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