Verfahren und Vorrichtung zur Pulsgasabgabe mit Konzentrationsmessung

EP4090787 Art A1 23. November 2022

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4090787
Aktenzeichen: EP21705684
Anmeldetag: 11. Januar 2021
Veröffentlichung: 23. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/448C23C16/52G05D11/13G05D7/06G05D21/00G05D21/02H01L21/67H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von