Verfahren und Vorrichtung zur Strahlstabilisierung und Referenzkorrektur für Euv-Inspektion
EP4090947
Art B1
31. Dezember 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4090947
- Aktenzeichen
- EP21757813
- Anmeldetag
- 10. Februar 2021
- Veröffentlichung
- 31. Dezember 2025
- Erteilung
- 31. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/33G01N21/956G01N21/95G01B11/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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