Breitbandige Beleuchtungsabstimmung

EP4091016 Art B1 15. Oktober 2025

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4091016
Aktenzeichen
EP21750837
Anmeldetag
31. Januar 2021
Veröffentlichung
15. Oktober 2025
Erteilung
15. Oktober 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G02B27/09G02B5/20G02B5/10G02B26/00G02B26/10G02B17/06G01J3/02G01J3/12G01J3/26
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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