Elektromagnetische Spulen aus Flexiblen Schaltungen
EP4091183
Art A1
23. November 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4091183
- Aktenzeichen
- EP21756714
- Anmeldetag
- 1. Februar 2021
- Veröffentlichung
- 23. November 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05K1/14H05K1/16H01F7/06H01F41/04H01J37/05
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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