Multi-Elektronenstrahl-System mit Mikro-Stigmator-Array
EP4091187
Art B1
9. April 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4091187
- Aktenzeichen
- EP21751280
- Anmeldetag
- 3. Februar 2021
- Veröffentlichung
- 9. April 2025
- Erteilung
- 9. April 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153H01J37/06H01J37/10H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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