Verfahren zur Abscheidung von Siliziumhaltigen Filmen damit

EP4092154 Art A1 23. November 2022

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4092154
Aktenzeichen: EP22176702
Anmeldetag: 14. Juni 2016
Veröffentlichung: 23. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C14/10C23C14/06C23C16/24C23C16/34C23C16/40C23C16/36C07F7/02H01L21/02H01L21/3205

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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