Datenverarbeitungsvorrichtung und -Verfahren, System und Verfahren zur Bewertung Geladener Teilchen

EP4092614 Art A1 23. November 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4092614
Aktenzeichen: EP21175476
Anmeldetag: 21. Mai 2021
Veröffentlichung: 23. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G06T5/00G06T5/20G06T5/50G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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