Vorrichtung zur Beobachtung des Beobachtungszielgasübertragungs-/diffusionsweges, Beobachtungszielgasmessverfahren, Spot-Defektpositionsnachweisvorrichtung, Spot-Defektpositionsdetektionsverfahren und Beobachtungsprobe
EP4092713
Art A1
23. November 2022
Anmelder: National Institute for Materials Science 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4092713
- Aktenzeichen
- EP21764967
- Anmeldetag
- 25. Februar 2021
- Veröffentlichung
- 23. November 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/20H01J37/244H01J37/28G01N23/2204G01N23/2208G01N23/2251
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- National Institute for Materials Science
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute for Materials Science
Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.
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Vertreten von
-
Isarpatent
Isarpatent · München