Verfahren zur Bestimmung einer Abbildungsqualität eines Optischen Systems bei Beleuchtung mit Beleuchtungslicht Innerhalb einer zu Vermessenden Pupille
EP4095505
Art A1
30. November 2022
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4095505
- Aktenzeichen
- EP22174035
- Anmeldetag
- 18. Mai 2022
- Veröffentlichung
- 30. November 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01M11/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank