Beugungsgitter für Messungen in Euv-Belichtungsapparaten

EP4095573 Art A1 30. November 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4095573
Aktenzeichen: EP21176240
Anmeldetag: 27. Mai 2021
Veröffentlichung: 30. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/18G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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