Steuervorrichtung, Steuerungssystem, Verfahren zum Betreiben eines Steuerungssystems

EP4097808 Art B1 18. Oktober 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4097808
Aktenzeichen: EP21701268
Anmeldetag: 19. Januar 2021
Veröffentlichung: 18. Oktober 2023
Erteilung: 18. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/13H01S3/23H01S5/00H01S5/0687H01S5/40H01S5/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von