Verfahren zum Bestimmen der Abbildungsqualität eines Optischen Systems bei Beleuchtung mit einem Licht in einer zu Vermessenden Eingangspupille

EP4099093 Art A1 7. Dezember 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4099093
Aktenzeichen: EP22173143
Anmeldetag: 13. Mai 2022
Veröffentlichung: 7. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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