Ionenstrahl-Probenbearbeitungsvorrichtung und Informationsbeschaffungsverfahren

EP4099360 Art A3 17. Mai 2023

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4099360
Aktenzeichen: EP22176774
Anmeldetag: 1. Juni 2022
Veröffentlichung: 17. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/22G01N1/28G01N1/31H01J37/304H01J37/31G01N1/32H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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