Oberflächenbearbeitungsvorrichtung und Oberflächenbehandlungsverfahren für Sic-Substrate

EP4099364 Art A1 7. Dezember 2022

Anmelder: DENSO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4099364
Aktenzeichen: EP22172909
Anmeldetag: 12. Mai 2022
Veröffentlichung: 7. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/67B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: DENSO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Denso

Japanischer Automobilzulieferer mit Sitz in Kariya (Präfektur Aichi). Denso entwickelt Antriebs, Klima, Sicherheits und Elektroniksysteme für Fahrzeuge sowie Komponenten für Elektromobilität, Fahrerassistenz und Halbleitertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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