Grabenkondensatorstruktur mit Hybrider Füllschicht

EP4099396 Art A1 7. Dezember 2022

Anmelder: Murata Manufacturing Co., Ltd., Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4099396
Aktenzeichen: EP21305761
Anmeldetag: 4. Juni 2021
Veröffentlichung: 7. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/66H01L29/94

Offizieller Volltext

Abstract

A capacitor structure (500) enhanced for high-voltage applications is disclosed. The structure comprises a silicon substrate (102) having a trench structure formed therein; a dielectric (104) disposed over a surface of the trench structure, conformal to said surface of the trench structure; and a filling layer (502, 504, 506) disposed over the dielectric layer and into the trench structure, the filling layer comprising a conductive layer (502, 506) and a polymer layer (504) .

Anmelder

Firmen: Murata Manufacturing Co., Ltd.
Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Manufacturing

Japanisches Elektronikunternehmen mit Sitz in Kyoto. Murata entwickelt und produziert elektronische Bauelemente wie Kondensatoren, Sensoren und Kommunikationsmodule für Elektronikgeräte.

13.720 Patente in unserer Datenbank

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

5.980 Patente in unserer Datenbank

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

8.393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von