Euv-Reflektometer

EP4100721 Art B1 10. Januar 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Bestec GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4100721
Aktenzeichen: EP21703688
Anmeldetag: 5. Februar 2021
Veröffentlichung: 10. Januar 2024
Erteilung: 10. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/33G01N21/55G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Bestec GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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