Verfahren zur Übertragung einer Schicht auf ein Substrat

EP4102543 Art A1 14. Dezember 2022

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4102543
Aktenzeichen
EP21178581
Anmeldetag
9. Juni 2021
Veröffentlichung
14. Dezember 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02G01N27/30B32B7/025
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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🇧🇪 KU Leuven Research & Development

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