Optischer Isolator, Seed-Isolatormodul, Euv-Strahlungsquelle und Lithographiesystem

EP4102655 Art A1 14. Dezember 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4102655
Aktenzeichen: EP21178433
Anmeldetag: 9. Juni 2021
Veröffentlichung: 14. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/00G02F1/11G02F1/33// H01S3/04H01S3/223H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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