Steuerung für eine Anpassungseinheit eines Plasmabearbeitungssystems

EP4105963 Art A1 21. Dezember 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc., Impedans Ltd 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4105963
Aktenzeichen: EP22173193
Anmeldetag: 13. Mai 2022
Veröffentlichung: 21. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Impedans Ltd
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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