Flüssigkeitsübertragungssystem in einem Ladungsteilchensystem

EP4107772 Art A1 28. Dezember 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4107772
Aktenzeichen: EP21706205
Anmeldetag: 15. Februar 2021
Veröffentlichung: 28. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/18H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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