Verfahren zum Betreiben einer Molekularvakuumpumpe zur Erzielung eines Verbesserten Saugvermögens

EP4108931 Art B1 26. Juni 2024

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4108931
Aktenzeichen
EP22193499
Anmeldetag
1. September 2022
Veröffentlichung
26. Juni 2024
Erteilung
26. Juni 2024
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D27/02// F04D29/58F04D29/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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