Kombiniertes Gewelltes Piezoelektrisches Mikrofon und Gewellter Piezoelektrischer Schwingungssensor
Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4109927
- Aktenzeichen
- EP21187639
- Anmeldetag
- 26. Juli 2021
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H04R17/02H04R7/26H04R7/18H04R17/10H04R1/04
Abstract
A combined MicroElectroMechanical structure (MEMS) includes a first piezoelectric membrane having one or more first electrodes, the first piezoelectric membrane being affixed between a first holder and a second holder; and a second piezoelectric membrane having an inertial mass and one or more second electrodes, the second piezoelectric membrane being affixed between the second holder and a third holder.
Anmelder
- Firma
- Infineon Technologies AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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Fachgebiete
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