Weiche Röntgenoptik mit Verbesserter Filterung
EP4111472
Art A1
4. Januar 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4111472
- Aktenzeichen
- EP21784781
- Anmeldetag
- 23. März 2021
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B15/02G01B15/08G21K1/06G21K1/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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