Elektronenstrahlsystem zur Inspektion und Überprüfung von 3D-Vorrichtungen
EP4111485
Art A1
4. Januar 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4111485
- Aktenzeichen
- EP21789552
- Anmeldetag
- 13. April 2021
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/145H01J37/28H01J37/04H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank