Verfahren zum Produzieren einer Schicht aus Aluminiumnitrid (aln) auf einer Struktur aus Silizium oder Iii-V Materialien

EP4111490 Art A1 4. Januar 2023

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Centre national de la recherche scientifique, Université Grenoble Alpes 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4111490
Aktenzeichen: EP21706634
Anmeldetag: 25. Februar 2021
Veröffentlichung: 4. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Centre national de la recherche scientifique
Université Grenoble Alpes
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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🇫🇷 Université Grenoble Alpes

Französische Universität mit Sitz in Grenoble, entstanden aus Zusammenschluss mehrerer Hochschulen, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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