Falschregistrierungsziel mit Vorrichtungsskalierten Merkmalen zur Messung der Falschregistrierung von Halbleiterbauelementen
EP4111495
Art A1
4. Januar 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4111495
- Aktenzeichen
- EP20931210
- Anmeldetag
- 25. Juni 2020
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68G03F7/20H01L23/544G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank