Bereitstellung von Unterschiedlichen Mustern auf einem Einzigen Substrat

EP4113209 Art A1 4. Januar 2023

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4113209
Aktenzeichen: EP21182339
Anmeldetag: 29. Juni 2021
Veröffentlichung: 4. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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