Einspringendes Gassystem für ein Ladungsteilchenmikroskop

EP4113568 Art B1 28. Februar 2024

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4113568
Aktenzeichen: EP22182145
Anmeldetag: 30. Juni 2022
Veröffentlichung: 28. Februar 2024
Erteilung: 28. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/02H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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