Ionenquelle, Massenspektrometer, Verfahren zur Steuerung der Ionenquelle

EP4113576 Art A1 4. Januar 2023

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4113576
Aktenzeichen: EP20921204
Anmeldetag: 4. Dezember 2020
Veröffentlichung: 4. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/04H01J49/16G01N27/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Tech Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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