System und Verfahren zur Überwachung von Halbleiterprozessen

EP4114999 Art A1 11. Januar 2023

Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4114999
Aktenzeichen: EP21764230
Anmeldetag: 2. März 2021
Veröffentlichung: 11. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/46C23C16/52H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

283 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von