Flottenanpassung von Halbleitermetrologiewerkzeugen ohne Dedizierte Qualitätskontrollwafer
EP4115171
Art A1
11. Januar 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4115171
- Aktenzeichen
- EP21813175
- Anmeldetag
- 24. Mai 2021
- Veröffentlichung
- 11. Januar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/401G05B19/418G01N21/95G01N21/93G01N21/88G01N21/956G01B11/06H01L21/66H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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