Computerimplementiertes Verfahren zur Diagnose eines Systems mit mehreren Modulen

EP4116888 Art A1 11. Januar 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4116888
Aktenzeichen: EP21184240
Anmeldetag: 7. Juli 2021
Veröffentlichung: 11. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G06N5/04G06N7/00G03F7/20G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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