Verfahren zum Verarbeiten eines Substrats, Substratverarbeitungsgerät und Aufzeichnungsmedium

EP4117023 Art A1 11. Januar 2023

Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4117023
Aktenzeichen: EP22175744
Anmeldetag: 27. Mai 2022
Veröffentlichung: 11. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corp.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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