Stabilisierung von Kohlenstoffablagerungsvorläufern Wie Acetylen.

EP4118064 Art A1 18. Januar 2023

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4118064
Aktenzeichen: EP21767765
Anmeldetag: 12. März 2021
Veröffentlichung: 18. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C07C7/20C07C11/24C07C7/11C10L3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Organische Chemie

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