System und Verfahren zur Fehlerprüfung mit Hohem Durchsatz in einem System mit Geladenen Teilchen

EP4118675 Art A1 18. Januar 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4118675
Aktenzeichen: EP21712054
Anmeldetag: 9. März 2021
Veröffentlichung: 18. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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