Verfahren zur Bestimmung einer Korrektur für mindestens einen Steuerparameter in einem Halbleiterherstellungsverfahren

EP4120019 Art A1 18. Januar 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4120019
Aktenzeichen: EP21185145
Anmeldetag: 12. Juli 2021
Veröffentlichung: 18. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/956G03F9/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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