Substratbehandlungsvorrichtung, Herstellungsverfahren für eine Halbleitervorrichtung und Programm

EP4120804 Art A1 18. Januar 2023

Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4120804
Aktenzeichen: EP20923891
Anmeldetag: 11. März 2020
Veröffentlichung: 18. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/46H01L21/31H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corp.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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