Bestimmung Metrologieartiger Informationen für eine Probe unter Verwendung eines Prüfwerkzeugs
EP4122007
Art A1
25. Januar 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4122007
- Aktenzeichen
- EP21771514
- Anmeldetag
- 9. März 2021
- Veröffentlichung
- 25. Januar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/06G01B11/25G01B15/04G01B21/02G01N21/84G01N21/88G01N21/95G03F7/00H01L21/66H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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