Vakuumpumpe und Verfahren zur Herstellung eines Statorbauteils für einen Stator einer Vakuumpumpe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4123182

Aktenzeichen

EP22210842

Anmeldetag

1. Dezember 2022

Veröffentlichung

5. November 2025

Erteilung

5. November 2025

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04F04D29/52F04D29/58

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuse und zumindest einer in dem Gehäuse angeordneten Pumpstufe, die einen Stator und einen im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden, mit dem Stator pumpwirksam zusammenwirkenden Rotor umfasst, wobei der Stator wenigstens ein Statorbauteil mit einer Oberfläche aufweist, die einen ersten Anteil und einen von dem ersten Anteil verschiedenen zweiten Anteil aufweist, und wobei der zweite Anteil der Oberfläche unbeschichtet ist und einen thermischen Emissionsgrad ε von mindestens 0,25, bevorzugt mindestens 0,3, bei 50°C aufweist.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete