Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Klebeverbindung zwischen einer Ersten Komponente und mindestens einer Zweiten Komponente für die Mikrolithographie

EP4123381 Art A1 25. Januar 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4123381
Aktenzeichen: EP22153367
Anmeldetag: 26. Januar 2022
Veröffentlichung: 25. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B7/182F16B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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