Datenverarbeitungsvorrichtung und -Verfahren, System und Verfahren zur Bewertung Geladener Teilchen

EP4123579 Art A1 25. Januar 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4123579
Aktenzeichen
EP22184652
Anmeldetag
13. Juli 2022
Veröffentlichung
25. Januar 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G06T7/00// H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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