Verfahren und Vorrichtung zur Vorhersage einer mit einem Prozess Assoziierten Prozessmetrik

EP4127833 Art B1 3. April 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4127833
Aktenzeichen: EP21706332
Anmeldetag: 24. Februar 2021
Veröffentlichung: 3. April 2024
Erteilung: 3. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G05B19/418G06N3/02G06N20/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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