Gasverteiler in einer Halbleitervorrichtung und Halbleitervorrichtung

EP4130334 Art A1 8. Februar 2023

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4130334
Aktenzeichen: EP21780980
Anmeldetag: 25. März 2021
Veröffentlichung: 8. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

488 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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