Verfahren zur Datenabbildung für Analyse von Niedrigdimensionalen Daten

EP4130880 Art A1 8. Februar 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4130880
Aktenzeichen: EP21189299
Anmeldetag: 3. August 2021
Veröffentlichung: 8. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G06N3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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