Elektrofüllung aus Alkalischen Elektrobeschichtungslösungen

EP4133121 Art A1 15. Februar 2023

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4133121
Aktenzeichen: EP21783970
Anmeldetag: 6. April 2021
Veröffentlichung: 15. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C25D3/38C25D7/12C25D5/34C25D5/48C25D5/08C25D5/04C25D5/18C25D21/12// H01L21/288H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von