Rückbeleuchteter Sensor und Verfahren zur Herstellung eines Sensors mit einem Silizium-Auf-Isolator-Wafer
EP4133525
Art A1
15. Februar 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4133525
- Aktenzeichen
- EP21785055
- Anmeldetag
- 8. April 2021
- Veröffentlichung
- 15. Februar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L27/146
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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