Entladungsverfahren, Entladungssystem und Substratverarbeitungsvorrichtung damit

EP4134468 Art A1 15. Februar 2023

Anmelder: Samsung Display Co., Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4134468
Aktenzeichen: EP22189761
Anmeldetag: 10. August 2022
Veröffentlichung: 15. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44C23C16/54H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Samsung Display Co., Ltd.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Samsung Display

Südkoreanisches Tochterunternehmen der Samsung-Gruppe, das Displaypanels wie OLED- und LCD-Bildschirme für Smartphones, Fernseher und weitere Elektronikgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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